可進行試劑蒸發、試劑純化、樣品消化及容器清潔的多功能設備。
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密閉式蒸發:蒸發部份或全部試劑,可降低基質干擾,並得到良好的回收率(~ppt等級),且不須額外冷凝裝置。 |
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試劑純化:利用Sub-boiling蒸餾原理得到Sub-ppb等級的超純試劑,大幅降低購買試劑成本 (HCl, HF, HNO3, H2O2, NH4OH, Solvent…)。 |

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樣品消化:蒸發/純化的同時可進行樣品消化分解之分析前處理,最多可同時消化28個樣品。 |

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容器清潔:不須其他清洗系統即可完成容器的清潔,減少清洗試劑的使用。 |
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所有功能皆在密閉狀態下進行,讓操作人員免於曝露在試劑蒸氣下。 |
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不需要搭配中和系統,有效節省操作成本。 |
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可加裝溫度探針,準確偵測樣品瓶內的溫度。 |
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加裝石墨墊,即可使用不同容量的樣品瓶進行蒸發。 |
| Evapoclean 規格 |
| Model 3:3個蒸發位置、6個消化位置、3個連接彎管、6個樣品瓶 |
| Model 6:6個蒸發位置、12個消化位置、6個連接彎管、12個樣品瓶 |
| Model12:12個蒸發位置、24個消化位置、12個連接彎管、24個樣品瓶 |
| 電源需求:110 or 230 Volts, 60Hz (依不同型號,搭配不同電源) |
| 加熱器材質:全鐵氟龍包覆石墨 |
| 樣品瓶材質:PFA,有15、30、60、90、180mL供選擇 |
| 連接彎管材質:高品質PTFE |
| 最高溫度設定:235℃,溫度差異在±2°C以內 |
| 具三個防止過熱裝置 |
| *皆附贈外防護罩 |
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| 溫度控制器規格 |
| 電源需求:230 Volts, 60Hz |
| 可編程式溫度控制器:每個程式可編輯4階段,共16個程式 |
| 標準式溫度控制器:可設定溫度點 |
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Examples of Recovery Data
[Analysis of sub-ppb Semiconductor-grade chemicals by ICP-MS]
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| HF 49% |
Recovery [%] |
| Al |
78 |
| Sb |
98 |
| As |
96 |
| Ba |
98 |
| Be |
89 |
| Bi |
98 |
| Cd |
100 |
| Ca |
83 |
| Cr |
98 |
| Co |
99 |
| Cu |
101 |
| Ga |
99 |
| Ge |
99 |
| Au |
99 |
| Fe |
95 |
| Pb |
95 |
| Mg |
103 |
| Mn |
98 |
| Mo |
94 |
| Ni |
85 |
| Nb |
99 |
| K |
88 |
| Ag |
91 |
| Na |
83 |
| Sr |
99 |
| Ta |
117 |
| Tl |
97 |
| Sn |
83 |
| Ti |
85 |
| V |
95 |
| Zn |
99 |
| Zr |
96 |
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| HCl 36% |
Recovery [%] |
| Al |
102 |
| As |
92 |
| Ba |
100 |
| Be |
101 |
| Bi |
98 |
| Cd |
99 |
| Ca |
97 |
| Cr |
107 |
| Co |
92 |
| Cu |
94 |
| Ga |
92 |
| Au |
95 |
| Fe |
105 |
| Pb |
99 |
| Li |
118 |
| Mg |
108 |
| Mn |
100 |
| Mo |
87 |
| Ni |
81 |
| Nb |
93 |
| K |
100 |
| Ag |
95 |
| Na |
91 |
| Sr |
95 |
| Ta |
109 |
| Tl |
99 |
| Sn |
100 |
| Ti |
82 |
| V |
91 |
| Zn |
88 |
| Zr |
95 |
|
| HNO3 69% |
Recovery [%] |
| Al |
89 |
| Sb |
94 |
| As |
86 |
| Ba |
106 |
| Be |
98 |
| Bi |
101 |
| Cd |
92 |
| Ca |
94 |
| Cr |
103 |
| Co |
96 |
| Cu |
93 |
| Ga |
95 |
| Ge |
95 |
| Au |
98 |
| Fe |
82 |
| Pb |
104 |
| Li |
88 |
| Mg |
83 |
| Mn |
104 |
| Mo |
97 |
| Ni |
101 |
| Nb |
96 |
| K |
101 |
| Ag |
99 |
| Na |
104 |
| Sr |
98 |
| Ta |
99 |
| Tl |
105 |
| Sn |
99 |
| Ti |
78 |
| V |
92 |
| Zn |
81 |
| Zr |
96 |
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| 50 ppt Spikes |
100 ppt Spikes |
500 ppt Spikes |
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